摘要：基于集成電路制造工藝課程的教學問題,提出了相應解決方案。這包括合理安排授課次序,對比各個單項工藝,將知識點生活化,及時更新教學材料,以及借助軟件模擬開展實驗教學等。
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期刊名稱：集成電路應用
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