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大功率半導體激光器封裝熱應力研究

摘要:利用多物理場仿真軟件COMSOL Multiphysics分別對不同厚度焊料以及不同厚度WCu次熱沉封裝的大功率半導體激光器巴條進行模擬。結果表明:無論是In焊料還是AuSn焊料,其最大熱應力均產生于WCu次熱沉與Cu熱沉界面處;相同厚度In焊料和AuSn焊料封裝的激光器管芯熱應力分別為3.57 GPa和3.83 GPa,光譜峰值處波長分別為800.5 nm和798 nm;降低焊料的厚度,有利于減小激光器管芯內部的熱應力和溫度,但焊料厚度過薄,則可能會導致激光器管芯焊接不牢或焊料分布不均勻、焊料層內部出現空洞等現象,因此焊料厚度的選擇應從整體進行考慮;隨著WCu次熱沉厚度的增加,激光器芯片受到的熱應力變小,但管芯溫度升高,WCu次熱沉的最優厚度為380μm。本研究結果為優化設計大功率半導體激光器巴條的封裝提供了依據,對實際生產具有指導意義。

關鍵詞:
  • 激光器  
  • 封裝  
  • 熱應力  
  • comsol  
  • multiphysics  
  • 仿真  
作者:
袁慶賀; 井紅旗; 仲莉; 劉素平; 馬驍宇
單位:
中國科學院半導體研究所光電子器件國家工程中心; 北京100083; 中國科學院大學材料科學與光電技術學院; 北京100049
刊名:
中國激光

注:因版權方要求,不能公開全文,如需全文,請咨詢雜志社

期刊名稱:中國激光

中國激光雜志緊跟學術前沿,緊貼讀者,國內刊號為:31-1339/TN。堅持指導性與實用性相結合的原則,創辦于1974年,雜志在全國同類期刊中發行數量名列前茅。

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